ASML中国总裁:对华出口EUV光刻机在等荷兰政府许可

中国科技新闻网11月6日讯(孔辰) 11月6日消息,据荷兰光刻机巨头ASML(阿斯麦)全球副总裁、中国区总裁沈波透露,2020年二、三季度,该公司发往中国大陆地区的光刻机台数超过了全球总台数的20%。

在昨日的进博会上,ASML仅展示了DUV光刻机,并没有展示新的EUV光刻机。

ASML中国总裁:对华出口EUV光刻机在等荷兰政府许可插图

对此,沈波表示,EUV光刻机目前还在等荷兰政府的出口许可证。该公司须在遵守法律法规的前提下进行光刻机出口。

但沈波强调,该公司对向中国出口光刻机保持很开放态度。自30年前进入中国市场以来,该公司在中国共为客户提供了700多台装机。

公开资料显示,ASML是全球最大的集成电路设备制造商之一,总部在荷兰。目前,该公司所产EUV(极紫外光)光刻机的加工极限已达到5纳米。

据ASML日前披露的数据显示,该公司每年仅生产20多台EUV光刻机。

随机文章

发表评论

电子邮件地址不会被公开。 必填项已用*标注